&苍产蝉辫; 对于薄膜沉积控制仪的检查与维修不是简简单单马马虎虎就可以完成的，下面来看下
薄膜沉积控制仪的检修要求：
(1)操纵台上的所有操纵按钮、主令开关的手柄、信号灯及仪表护罩都应保持清洁完好。
(2)检查接触器、继电器等电器的触头系统吸合是否良好，有无噪声、卡住或迟滞现象；触头接触面有无烧蚀、毛刺或穴坑；电磁线圈是否过热；各种弹簧弹力是否适当；灭弧装置是否完好无损等。
(3)试验位置开关能否起位置保护作用。
(4)检查各电器的操动机构是否灵活可靠，有关整定值是否符合要求。
(5)检查各线路接头与端子板的连接是否牢靠，各部件之间的连接导线、电缆或保护导线的软管不得被冷却液、油污等腐蚀，管接头处不得产生脱落或散头等现象。
(6)检查电气柜及导线通道的散热情况是否良好。
(7)检查各类指示信号装置和照明装置是否完好。
以上是对于薄膜沉积控制仪的维修方式介绍。
